擴散硅壓力傳感器芯體

標題：擴散硅壓力傳感器芯體

產品概述

擴散硅壓力傳感器芯體是一種采用不銹鋼波紋膜片隔離的充油式OEM壓力敏感元件。被測壓力通過隔離膜片和灌注的硅油傳遞到具有惠斯登電橋的精密力學結構的硅壓敏芯片上，實現了被測壓力和模擬信號精確轉換，再通過一個定制的集成電路進行溫度補償和非線性修正并輸出符合I2C、SPI、MODBUS 485協議的壓力數據和溫度數據。數字輸出經過歸一化，應用性強。

產品特點

● 具有表壓、絕壓和密封表壓形式

● 隔離式結構，適用于多種流體介質

應用領域

● 壓力檢測儀表

● 制冷設備和空調系統

● 液壓系統及開關

● 壓力校準儀器

擴散硅壓力傳感器芯體技術規格                                

技術特點：

1、靈敏度高

擴散硅敏感電阻的靈敏因子比金屬應變片高50?80倍，它的滿量程信號輸出在80-100mv左右。對接口電路適配性好，應用成本相應較低。由于它輸入激勵電壓低，輸出信號大，且無機械動件損耗，因而分辨率*。

2、精度高

擴散硅壓力傳感器的感受、敏感轉換和檢測三位一體，無機械動件連接轉換環節，所以重復性和遲滯誤差很小。由于硅材料的剛性好，形變小，因而傳感器的線性也非常好，因此綜合表態精度很高。

3、可靠性高

擴散硅敏感膜片的彈性形變量在微應變數量級，膜片zui大位移量在來微米數量級，且無機械磨損、無疲勞、無老化。平均*時間長，性能穩定，可靠性高。

4、頻響高

由于敏感膜片硅材料的本身固有頻率高，一般在50KC。制造過程采用了集成工藝，膜片的有效面積可以很小，配以剛性結構前置安裝特殊設計，使傳感器頻率響應很高，使用帶寬可達零頻至100千赫茲。

5、溫度性能好

隨著集成工藝技術進步，擴散硅敏感膜的四個電阻*性得到進一步提高，原始的手工補償已被激光調阻、 計算機自動修整技術所替代，傳感器的零位和靈敏度溫度系數已達10-5/°C數量級，工作溫度也大幅度提高。

6、抗電擊穿性能好

由于采用了特殊材料和裝配工藝，擴散硅傳感器不但可以做到130℃正常使用，在強磁場、高電壓擊穿試驗中可抗擊1500V/AC電壓的沖擊。